射頻

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13.56MHz射頻電源（通用型）

應用于等離子體真空系統，具有高可靠性的電源

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該射頻電源采用E類放大器，實現效率高、高可靠性。大的冗余設計，使其具有長期滿功率輸出能力。特殊的濾波網絡，實現波形的純凈。諧波性能優越，可承受開路、短路等極端沖擊。大屏幕液晶顯示：設定功率、入

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該射頻電源采用3U半機箱設計，整機功率密度高。支持連續波、脈沖、多級脈沖的工作模式。可自定義配置脈沖信號，響應速度快，信號質量高。支持高速、高精度的調頻功能。應用特征

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產品特點 1.電源寄存能量低，內置電流限制和保護電路設計使設備免受浪涌和電弧的損害。 2.通過輸出極性轉換，降低了夾盤上電荷的風險。 3.短路和開路設計增加了設備的可靠性。

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