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青島福潤德牌frd-105高純砷提純設(shè)備 

概述:青島福潤德微電子生產(chǎn)的高純材料提純設(shè)備主要滿足高純砷等新材料制造行業(yè),對材料進(jìn)行氣氛保護(hù)下的燒結(jié)、升華、還原、精餾等工藝。 歡迎廣大客戶朋友前來洽談業(yè)務(wù)。
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高純材料提純設(shè)備主要滿足高純砷等新材料制造行業(yè),對材料進(jìn)行氣氛保護(hù)下的燒結(jié)、升華、還原、精餾等工藝。

主要性能指標(biāo):

u外型形式:臥式結(jié)構(gòu),水平爐管

u工作溫度:200℃—1100℃

u恒溫區(qū)長度:根據(jù)工藝要求

u儀表控溫精度:千分之三高精度

u可通工藝氣體:氮氣、氧氣、氫氣、氬氣等

u氣體控制方式:MFC或浮子流量計控制

u報警系統(tǒng):氣體壓力異常報警、斷電報警、超溫報警、極限超溫報警

u控制方式:程序控制或工控機(jī)+觸摸屏控制

產(chǎn)品特點:

u采用國內(nèi)獨有的開合式設(shè)計方式;

u工藝降溫速度快;

u生產(chǎn)效率高;

u設(shè)備維護(hù)簡便

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