13.56MHz射頻電源(大功率)
概述: 產品性能 該電源輸出功率可達2500W到5000W ,頻 率13.56MHz,標準正弦波。該系列電源具有功率輸出精度高、穩定、可重復等優點。其固態設計使得該產品價格低、可靠性高。電源采用
產品性能
該電源輸出功率可達2500W到5000W ,頻 率13.56MHz,標準正弦波。該系列電源具有功率輸出精度高、穩定、可重復等優點。其固態設計使得該產品價格低、可靠性高。電源采用大屏幕液晶顯示:設定功率、入射功率、反射功率、狀態等參數,同時還可以顯示匹配器的運行參數并且通過電源面板可操作射頻匹配器。
應用對象
該電源可以作為射頻驅動等離子體系統的電源,該系統可應用于半導體工業。應用對象包括:刻蝕、RIE、平行板、ICP、磁控濺射、CVD、PVD、等離子清洗和PECVD等系統。


- gmpower發布的信息
- 13.56MHz自動匹配器
- 匹配器系統采用高速匹配算法,當接近匹配點時,這種高速匹配算法會逐漸的減緩系統的速度,即使在“Q”值很高時也很容易找到匹配點。匹配器可以很快的將輸入阻抗調整為50Ω,調整的準確性和可靠性可以很快的...
- 2MHz射頻電源
- 該射頻電源采用E類放大器,實現效率高、高可靠性。大的冗余設計,使其具有長期滿功率輸出能力。特殊的濾波網絡,實現波形的純凈。諧波性能優越,可承受開路、短路等極端沖擊。大屏幕液晶顯示:設定功率、入...
- 13.56MHz射頻電源(通用型)
- 應用于等離子體真空系統,具有高可靠性的電源...
開關電源/插座插頭重發信息
- ebmpapst散熱通風風扇 R4E400-AB23-05 離心渦輪風機
- 深圳維修電源
- 上海凸輪分割器廠家供應 450DA分割器
- 廣州樓宇住宅監控室機房工程UPS電源銷售代理商 蓄電池安裝價
- 供應全國各地STS靜態轉換開關產品信息
- 【現貨】上海安亭TDL-50B低速臺式離心機(變頻)
- TW200F6BK 30玻纖 熱穩定PA46 奈高溫 戶外電源設備應用
- 線路防外力破壞警示裝置熱供
- 智能卷簾門控制器(不帶儲備電源普通型控制箱)
- 高頻退火機不銹鋼感應加熱退火設備
- 嵌入式耐高低溫7寸安卓工業一體機支持WIFI/藍牙
- 瑞士利易得leister塑料焊槍DIODE S
- 轉讓美國進口愛克賽EKSI不間斷電源UPS
- 電源車廠家,移動電源車多少錢一臺,流動電源車多少錢
- 上海仁浦供應三相穩壓器SBW-100KVA 380V穩壓器