頂立科技臥式化學氣相沉積爐（碳化硅）
概述：該化學氣相沉積爐（碳化硅）可用于以硅烷為氣源的材料表面抗氧化涂層、基體改性等。
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臥式化學氣相沉積爐（碳化硅）技術特征
可根據客戶需求設計尺寸，能滿足超大型工件化學氣相沉積處理需求；
采用先進的控制技術，能精密控制MTS的流量和壓力，爐膛內沉積氣流穩定，壓力波動范圍��；
采用特殊結構沉積室，密封效果好，抗污染能力強；
采用多通道沉積氣路，流場均勻，無沉積死角，沉積效果好；
對沉積產生的高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點粘性產物能進行有效處理；
采用最新設計防腐蝕真空機組，持續工作時間長，維修率極低。
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