優點： 快速分析 Ultra DI® 50的采樣量大，能夠快速獲取有效統計數據 儀器可以快速清洗，便于在采樣點之間快速移動，節省操作人員的時間 采樣時間間隔較短，縮短粒子分析時間 改善制程 采樣體積大，零點計數值超低，可獲取更多的有效統計數據，監測更微量的粒子漂移 實時監測粒子污染，對其作出迅速反應 Facility Net軟件具有更先進的制程控制功能：文數傳呼、傳感器狀態顯示、制表和SPC圖、時間圖、歷史數據記錄等 更小的樣本間誤差，適用于更嚴格的制程 控制監測靈敏度達到0.05µm，能更迅速地監測制程變化 容易使用 可使用現有的以太網通訊網絡 通過4-20mA直接連接PLC和SCADA系統 可用于監測臭氧水 不銹鋼外殼，雙HEPA過濾，可用于很臟的環境

應用

量化先進的超純水（UPW）系統中的粒子濃度 檢測過濾器效率 分析低濃度粒子趨勢 監測UPW系統中的細菌增長 粒子事件追蹤和報警 制程控制 連續系統監測

 粒徑范圍：0.05-0.20um 

通道數：4 

通道粒徑：0.05、0.10、0.15、0.20um

 流量(mL/分鐘)：1000mL/分鐘士10% 

計數效率：100%樣本體積

 采樣量：≥ 3.75 mL/分鐘 

最高濃度：10000個粒子計數/mL 

樣本溫度：15-50°C 最大壓力：100 psi 

零點計數：≤50個粒子計數/L 

外表面材料：不銹鋼 

濕式表面材料：Teflon@、Kel-F、石英、藍寶石、Viton@、NG1玻璃、Simmraz® 

尺寸(LxWxH)：10x14x17 in.(25x35x42.5 cm) 

重量：45 lbs.(20.45 kg) 電源：100-125或208-240V，50-60Hz 

通訊：以太網，4-20mA(3個輸出，其中2個為粒子通道，1個為儀器狀態)，RS-232(僅為設置和故障診斷，無數據) 

狀態顯示：激光、電源、監測活動:1個三色LED顯示屏

校準：可追蹤校準材料，符合NIST(美國國家標準和技術研究所)標準和/或JIS(日本技術研究所)標準。 

環境溫度:15-30°C，

濕度:非冷凝