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SRS-2/MALCOM/回流爐模擬測定裝置 

概述:品名 回流爐模擬測定裝置  SRS-2基板尺寸 長:70W×70L mm 高:保持面上  10mm 以下裝置尺寸 652W×41
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品名 回流爐模擬測定裝置  SRS-2
基板尺寸 長:70W×70L mm
高:保持面上  10mm 以下
裝置尺寸 652W×411D×425Hmm
加熱方式 上面:熱風・遠紅外線輻射過熱
下面:遠紅外線輻射加熱
冷卻方式 外部氣體(氮氣或空氣)導入
冷卻用流量調整弁付
電源  3 相  200V 50/60Hz 1.5kVA
外部氣體 0.3~0.5MPa    100 升/min (MAX)
爐內氧氣濃度
(氮氣使用的時候) 最低 100ppm
基板托盤 平托盤
上面加熱 熱風式:約 675W(約 75W×3 本×3 列)
※可以對標準管口進行偏差設定
紅外線加熱器:約 300W
下面加熱 紅外線加熱器:約 240W
溫度精度  5℃以內  (最大基板中央  50W×50L mm 范圍內)
測定溫度 常溫~330℃
測定點數(shù) 3 測定點
氮氣供給機能 流量調整閥:100 升/min
裝置重量 約 50kg
測定范圍 X 軸方向:最大 70mm
Y 軸方向:最大 70mm
Z 軸方向:標準點 0~3mm
變位計分辨能 最大 0.2μm
X-Y 軸驅動速度 最大 45mm/s(加減速度除外)
測定點 最大 19 點(以在任意的時間及溫度內連續(xù)的計測指定范圍)
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