全氟橡膠ED密封圈
概述：
全氟橡膠ED密封圈（FFKM）類(lèi)似聚四氟乙烯（PTFE）材料，全氟橡膠具有優(yōu)異耐化學(xué)性和耐高溫性。普通全氟橡膠ED密封圈工作溫度為-250℃,特殊全氟橡膠ED密封圈溫度可達(dá)300℃。
優(yōu)點(diǎn)：耐熱
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全氟橡膠ED密封圈（FFKM）類(lèi)似聚四氟乙烯（PTFE）材料，全氟橡膠具有優(yōu)異耐化學(xué)性和耐高溫性。普通全氟橡膠ED密封圈工作溫度為-250℃,特殊全氟橡膠ED密封圈溫度可達(dá)300℃。
優(yōu)點(diǎn)：耐熱性極好，優(yōu)異的抗化學(xué)特性；缺點(diǎn)：耐低溫較差，原料價(jià)格偏高，生產(chǎn)難度比較大。全氟橡膠ED密封圈廣泛地運(yùn)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)及信息相關(guān)產(chǎn)業(yè)所運(yùn)用, 運(yùn)用范圍包含薄膜制程中之PVC, CVD及蝕刻制程及各種高真空密封制程。
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