頂立科技臥式化學氣相沉積爐（沉積炭）

臥式化學氣相沉積爐（沉積炭）技術特征 可根據客戶需求設計尺寸，能滿足超大型工件化學氣相沉積處理需求； 采用多溫區獨立控溫，溫度均勻性好； 采用特殊結構沉積室，密封效果好，抗污染能力強； 采用多通道沉積氣路，流場均勻，無沉積死角，沉積效果好； 對炭沉積過程中產生的焦油、固體粉塵、有機氣體等能進行有效處理。 臥式化學氣相沉積爐（沉積炭）產品規格 參數\型號 HCVD-060609-......