ESC靜電卡盤電源 高品質(zhì)射頻電源

產(chǎn)品特點(diǎn) 1.電源寄存能量低，內(nèi)置電流限制和保護(hù)電路設(shè)計使設(shè)備免受浪涌和電弧的損害。 2.通過輸出極性轉(zhuǎn)換，降低了夾盤上電荷的風(fēng)險。 3.短路和開路設(shè)計增加了設(shè)備的可靠性。 4.突出的夾緊性能使本產(chǎn)品更適用于半導(dǎo)體晶片生產(chǎn)過程中。 應(yīng)用對象 靜電卡盤電源可為半導(dǎo)體晶片轉(zhuǎn)移所使用的靜電夾盤提供穩(wěn)定的功勞輸出。 ......