全自動晶圓腐蝕機（多晶硅腐蝕機浸泡 式腐蝕清洗 電子清洗設備）

全自動晶圓腐蝕機（多晶硅腐蝕機浸泡 式腐蝕清洗 電子清洗設備） 用于晶圓片的清洗；適用于單片6″8″12″晶圓片。可能采用兆聲波清洗（MHz級超聲）增強效率，尤其擅長清除頑固顆粒和有機物；高壓噴淋與化學濕法腐蝕協同作用，高效去除污染物且避免硅片損傷。 機械臂走向右進左出’或‘左進右出’；制程控制為PLC控制方式；操作界面為全圖形化中文彩色人機界面（10.4彩屏）；槽體數量根據制程工藝要求選擇定制；設備制造北京華林嘉業科技有限公司（CGB）；......

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