器件表面 選購(gòu)指南
白光干涉儀測(cè)薄膜表面起伏
各種光學(xué)鏡片和玻璃等超精密加工產(chǎn)物，其表面質(zhì)量等級(jí)非常高。如果采用接觸式的輪廓儀，會(huì)劃傷器件表面，而一般的非接觸式光學(xué)影像方法，也沒(méi)有辦法克服它的高透明度特性。用光學(xué)干涉原理研制成的中圖儀器的SuperView W1白光干涉儀，為玻璃和光學(xué)鏡片的表面質(zhì)量提供了標(biāo)準(zhǔn)解決方案。 玻璃表面臺(tái)階檢測(cè) 透明玻璃表面鍍的一層金屬膜，因?yàn)槠浞峭该魈匦裕∧y(cè)厚儀沒(méi)有辦法測(cè)膜層厚度。況且膜層厚度的精度是在納米級(jí)別的，不管是非接觸式光學(xué)儀器還是接觸式臺(tái)階儀，都存在測(cè)量誤差，而中......
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