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工程部 陳經理

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型號:HM-V160

1. 真空腔體直徑為160 mm,可放入尺寸范圍在0-160 mm之間的樣品,易清潔和放入樣品;2. 安裝有一個110 mm的樣品臺,并且樣品臺可以旋轉,使所制薄膜達到更好的均勻性;

3. 采用鎢舟作為發(fā)熱源,最高溫度可達到2300℃;(贈送三只)

4. 精確控溫:控溫精度為+/-1℃;

5. 自動定時:時間精度0.01 s;

5. 自動/手動雙模式控制選擇;

6. 設備上有一KF25接口用于連接真空泵;

7. 雙極旋片真空泵或干泵,極限真空0.06 Pa;

8. 真空度達到1 Pa左右時,可蒸發(fā)貴金屬,如金、銀和鉑等,可蒸發(fā)其他金屬,如鋁、鈦、

銅、鉻等,也可蒸發(fā)部分半導體、絕緣體、有機材料;特殊改制后可鍍鋰、鈉、鉀等活性金屬;

9. 樣品臺可旋轉,轉速為:5 rpm


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