外延片 選購(gòu)指南
蝕刻清洗臺(tái)(硅片晶圓襯底外延片清洗)
蝕刻清洗臺(tái)(硅片晶圓襯底外延片清洗) 適用產(chǎn)業(yè)為半導(dǎo)體照明(LED)--襯底工藝段、PSS工藝段、外延工藝段 、芯片工藝段;手動(dòng)、自動(dòng)控制模式;適用于藍(lán)寶石晶片2-8inch25 Pcs/cassette數(shù)量1 cassette/ Batch Or 2 cassette/ Batch; 砷化鎵晶片 2-6inch25 Pcs/cassette數(shù)量1 cassette/ Batch Or 2 cassette/ Batch;碳化硅晶片2-8inch25 Pcs/cassette數(shù)量1 cassette/ Batch Or 2 cassette/ Batch;其它襯底晶片。制程應(yīng)用可用于切割后制程、磨......